X射线总剂量辐射地面模拟试验系统

晶片级器件辐照及辐射效应参数提取设备

1. 设备为晶片级器件辐照及辐射效应参数提取专用试验系统，用于半导体器件、微纳器件 X 射线总剂量辐射地面模拟试验，可完成器件辐照及辐射效应参数在线提取测试。

2. 系统集成射线管、探针测试台、高倍率显微观测模块；射线管单元与显微镜支持独立电动升降移动，可根据样品高度、测试需求调整工作距离。

3. 整套设备一体化集成，具备安全联锁、剂量监控、状态反馈功能，满足实验室长期连续辐照测试使用。

核心技术指标

1. 辐照单元

· 辐射类型：X 射线总剂量辐照模式，用于模拟空间辐射总剂量效应地面模拟试验。

· 输出剂量范围：可实现宽范围剂量率可调，支持高低剂量率切换，可完成器件累积总剂量辐照试验。

· 辐照均匀区：具备满足晶片级样品辐照的有效均匀照射区域，剂量均匀性满足器件总剂量试验评估要求。

· 射线管、显微镜均配置独立电控升降运动机构，可电动调节高度位置，定位重复精度高。

2. 探针测试平台

· 集成晶片级探针台，可支持晶片、裸芯片、微纳器件夹持定位，样品台具备精密位移调节能力。

· 可外接电学测试仪表，实现在线加电、实时电学信号采集，支持辐照过程中器件电学参数原位测试。

3. 显微观测模块

· 配置高倍率显微观测系统，可实时观测探针器件接触状态、样品状态，用于探针对位、样品状态监控。

· 显微镜与 X 射线管运动机构相互独立，可分别调整位置，不互相干涉。

4. 控制与软件功能

· 系统采用精密电控控制方式，辐照剂量、辐照时间、运动轴均可软件设置控制。

· 具备辐射效应参数在线提取功能，可记录辐照过程试验数据，存储试验日志，支持试验过程追溯。

· 具备完备安全防护与安全联锁功能，舱门开启自动切断射线输出，具备故障报警提示。

5. 设备用途 

     X射线总剂量辐射地面模拟试验系统

用于半导体微纳器件地面辐射模拟试验、器件抗辐照性能评估，完成总剂量辐照试验、辐照效应原位参数提取。